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一种改性多孔性二氧化硅减反膜的制备方法，采用正硅酸乙酯先掺杂甲基三乙氧基硅烷碱催化后酸催化的方法制备涂膜液，适用于滚涂法、或喷涂法、或浸涂法、或旋涂法，在基板上涂制多孔性二氧化硅基膜层，高温热处理后得到多孔性二氧化硅膜层。本发明制备的膜层具...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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