下载太赫兹波检测装置、照相机、成像装置以及测量装置的技术资料

文档序号:10807153

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本发明涉及太赫兹波检测装置、照相机、成像装置以及测量装置,能够将太赫兹波高精度地转换成电信号。具备:基底基板(2)、和排列在基底基板(2)的上方的多个第一检测元件(9),第一检测元件(9)具有吸收太赫兹波(15)而产生热的吸收部(42)、和...
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