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一种方法通常包括：给至少一个缓冲室中的衬底供热，并且经由传送机将衬底传送至连接至缓冲室的至少一个沉积室。该方法还包括：使用溅射，将第一组多种元素沉积在沉积室中的衬底的至少一部分上，并且使用蒸发，将第二组多种元素沉积在沉积室中的衬底的至少一部...
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