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本发明涉及一种基于特征谱线的电子束焦点检测装置及其工作方法，本电子束焦点检测装置包括：电子束聚焦单元，适于调节在任一高度下发射的电子束的焦点位置；光谱采集及控制单元，适于根据所述采集工件在受电子束轰击后工件表面的辐射强度，以检测出最高辐射强...
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