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本发明涉及一种储存柜充气系统的无线监控系统，包含：一柜体，其贮放有至少一个晶圆或光罩的载具；至少一个充气模组，其分层设于柜体内部且分别具有一供载具摆置的基体，并于基体上分别设有至少一个充气阀件及至少一个排气阀件；一供气模组，其通过一导气管路...
该专利属于陈明生所有，仅供学习研究参考，未经过陈明生授权不得商用。

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