下载发光二极管芯片及其制备方法的技术资料

文档序号:10802351

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本发明提供一种发光二极管芯片及其制备方法,该方法包括:在衬底上依次外延生长N型氮化镓层、发光层、P型氮化镓层,形成外延片;在外延片上,由上至下,去除部分区域的P型氮化镓层和发光层,直至暴露出N型氮化镓层,并设置N焊盘;在剩余区域的P型氮化镓...
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