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一种可控大长径比纳米探针的制备装置制造方法及图纸
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下载一种可控大长径比纳米探针的制备装置的技术资料
文档序号:10798102
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本实用新型提供一种可控大长径比纳米探针的制备装置,通过设置腐蚀稳压电路、腐蚀电压切断电路、探针浸没判断电路,与单片机配合实现对腐蚀过程中的腐蚀电压、探针浸没深度、探针提升速度等重要参数的精确控制,能够制备大长径比、可控长径比、耐磨损、可回收...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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