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本发明涉及单晶炉检测设备技术领域，旨在提供一种真空检测保护装置。该种真空检测保护装置包括触动开关和金属波纹管，触动开关和单晶炉的开路控制线路或者控制器连接，金属波纹管的一侧安装在副真空系统的压力检测口上，副真空系统与单晶炉的炉室相通，金属波...该专利属于杭州慧翔电液技术开发有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州慧翔电液技术开发有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。