下载半导体检测结构及检测方法的技术资料

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一种半导体检测结构及检测方法,所述半导体检测结构包括:两条串联电路,每一个串联电路包括一个待检测电阻和一个参考电阻,所述待检测电阻的正上方具有与引线键合的金属焊盘,所述参考电阻的正上方不具有与引线键合的金属焊盘,且所述待检测电阻和参考电阻的...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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