下载栅极的形成方法的技术资料

文档序号:10789390

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一种栅极的形成方法,包括:提供基底;在所述基底上形成多晶硅层;在栅宽方向上对所述多晶硅层进行第一刻蚀,在栅长方向上对所述多晶硅层进行第二刻蚀,第一刻蚀和第二刻蚀后形成栅极;所述第二刻蚀包括:在所述多晶硅层上形成具有窗口的光刻胶,所述窗口暴露...
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