下载压阻式高过载压力传感器及其制造方法的技术资料

文档序号:10788290

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本发明公开了一种压阻式高过载压力传感器及制造方法,涉及压阻式压力传感器领域,它解决了测量时存在的过载能力差、体积大、可靠性差的缺点。该压阻式高过载压力传感器从上至下由玻璃-硅-玻璃三层结构键合而成,中间主芯片层划分为抗过载区和传感区,敏感电...
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