下载一种双介质低温等离子体发生器的技术资料

文档序号:10786583

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本发明公开了一种双介质低温等离子体发生器,包括两个内部开有环形槽的堵头,降低了进气管的背压,使气体流通更流畅,同时两层石英玻璃管构成放电间隙,避免了有害气体腐蚀电极。本发明的一种双介质低温等离子体发生器方案如下:当气体从进气管进入堵头内时,...
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