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成膜装置内的金属膜的干洗方法制造方法及图纸
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下载成膜装置内的金属膜的干洗方法的技术资料
文档序号:10786523
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本发明公开一种干洗方法,其特征在于,该干洗方法使用β-二酮去除附着于成膜装置的金属膜,将包含β-二酮与NOx(表示NO、N2O中的至少1个)的气体用作清洁气体,使该清洁气体与处于200℃~400℃的温度范围内的该金属膜反应,从而去除该金属膜...
该专利属于中央硝子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过中央硝子株式会社授权不得商用。
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