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位于成像光纤顶端的曲面变焦距复眼微透镜的制作方法技术
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下载位于成像光纤顶端的曲面变焦距复眼微透镜的制作方法的技术资料
文档序号:10784913
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本发明公开了一种位于成像光纤顶端的曲面变焦距复眼微透镜的制作方法,采用激光光刻工艺在基板上制作单或多层柱状光刻胶阵列,通过改变曝光剂量使阵列中柱状光刻胶的高度和形貌按一定规律排布,通过升温、降温过程使柱状光刻胶阵列回流成微透镜;在所述光刻胶...
该专利属于厦门大学所有,仅供学习研究参考,未经过厦门大学授权不得商用。
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