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本发明公开了一种适于生物分子检测的芯片单元的制备方法，包括衬底上淀积电热绝缘材料和基底材料；光刻和干法刻蚀的方法制作图形作为制备侧墙的基底；淀积侧墙材料；干法回刻形成高和宽均为纳米尺寸的侧墙；用湿法腐蚀的方法去侧墙基底；光刻或电子束光刻+薄...
该专利属于山东华芯半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东华芯半导体有限公司授权不得商用。

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