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阻气膜及阻气膜的制造方法技术
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下载阻气膜及阻气膜的制造方法的技术资料
文档序号:10755337
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本发明的目的在于提供一种具有高阻气性、且透明性、耐久性、及柔软性亦优异的阻气膜及阻气膜的制造方法。关于本发明的阻气膜,膜中的氮与硅的组成比N/Si为1.00~1.35,膜密度为2.1g/cm3~2.4g/cm3,膜厚为10nm~60nm,基...
该专利属于富士胶片株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士胶片株式会社授权不得商用。
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