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本发明涉及运行脉冲式电弧源的方法。公开了一种用于沉积绝缘层的电弧方法以及用于低温涂层的电弧方法，其中引起或运行在电弧源的靶表面上的电火花放电，其中该火花放电同时用直流电以及脉冲或交流电来馈电。此外本发明还涉及一种电弧源，其中靶与供电单元连接...
该专利属于奥尔利康贸易股份公司（特吕巴赫）所有，仅供学习研究参考，未经过奥尔利康贸易股份公司（特吕巴赫）授权不得商用。

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