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多晶硅棒制造技术
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文档序号:10750858
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本发明提供一种多晶硅棒,其熔解所需的能量少,而在用作单晶硅制造原料或铸造法硅锭制造时,可对削减能源成本具有贡献。本发明的多晶硅棒,是以硅芯线为中心放射状地析出多晶硅,其特征在于:将圆柱状的棒材相对于轴向垂直切割的切割面中,在芯线部分以外的面...
该专利属于德山株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过德山株式会社授权不得商用。
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