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曲率可变反射镜、曲率可变单元以及曲率可变反射镜的制造方法技术
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下载曲率可变反射镜、曲率可变单元以及曲率可变反射镜的制造方法的技术资料
文档序号:10745937
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曲率可变反射镜具有以曲率可变的方式构成并且在反射镜反射面侧对激光进行反射的反射镜母材(2X),反射镜母材(2X)使用弹簧材料铜合金而形成,弹簧材料铜合金使用磷青铜、洋白铜、铬铜、锆铜、钛铜合金、铜-镍合金、或者在铜中添加有Ni(镍)、Sn(...
该专利属于三菱电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱电机株式会社授权不得商用。
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