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本实用新型提供一种研磨垫清洁装置，所述装置至少包括：至少两个研磨盘；每个研磨盘的背面均设有一端固定于该研磨盘的轴；所述轴的另一端通过一枢纽结构共同连接于一手臂的一端；所述每个研磨盘正面分别具有不同的粗糙度。本实用新型的所述研磨垫清洁装置对研...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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