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本发明公开提供一种氦气回收提纯方法，其包括的步骤依次为：过滤；化学吸附；配气；加热；催化；冷却；一次净化；冷却；精馏；二次净化。本发明还公开了一种氦气回收提纯装置，该装置包括：过滤器；化学吸附装置；组分分析装置；加气罐；加热器；催化系统；冷...
该专利属于苏州市兴鲁空分设备科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州市兴鲁空分设备科技发展有限公司授权不得商用。

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