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沉积源和有机层沉积设备制造技术
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下载沉积源和有机层沉积设备的技术资料
文档序号:10711136
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本发明公开了一种用于蒸发有机材料的沉积源和一种有机层沉积设备。在一方面,所述沉积源包括:排放管,释放包括有机材料的流体;以及坩埚,包括与排放管相邻的第一表面,第一表面接触从排放管释放的流体并具有第一高度。坩埚还包括远离第一表面延伸的第二表面...
该专利属于三星显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星显示有限公司授权不得商用。
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