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本发明提供高能量离子注入装置中的高效率射束传输技术。本发明的高能量离子注入装置具备：射束生成单元，具有离子源和质量分析装置；高能量多段直线加速单元，对离子束进行加速而生成高能量离子束；高能量射束的偏转单元，将高能量离子束朝向晶片进行方向转换...
该专利属于斯伊恩股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过斯伊恩股份有限公司授权不得商用。

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