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本发明涉及一种真空环境中快速传送大型托盘的装置及其使用方法，包括：面积大于1m2的石墨材料制成的托盘和用于将所述托盘在真空环境中进行传送的机械手臂，所述机械手臂的上表面设置有若干用于承载所述托盘的支撑件，其特征在于：在所述支撑件和所述托盘之...该专利属于理想能源设备(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过理想能源设备(上海)有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种真空环境中快速传送大型托盘的装置及其使用方法，包括：面积大于1m2的石墨材料制成的托盘和用于将所述托盘在真空环境中进行传送的机械手臂，所述机械手臂的上表面设置有若干用于承载所述托盘的支撑件，其特征在于：在所述支撑件和所述托盘之...