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基板定位承载装置，适于定位承载基板，基板定位承载装置包括真空吸附平台以及定位装置，真空吸附平台具有承载台面，定位装置设置于真空吸附平台，用以定位置于承载台面的该基板。基板定位承载装置还包括软质限位件，软质限位件可移除的设置于真空吸附平台的承...
该专利属于昆山龙腾光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山龙腾光电有限公司授权不得商用。

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