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本发明的具有自主管理功能的远程等离子体系统，从远程等离子体发生器中产生的等离子体供应给工艺腔室的过程中，可实时确认远程等离子体发生器的运行状态信息及在工艺腔室内的等离子体处理工艺进行状态信息。由此，流程管理人员可实时掌握远程等离子体系统的运...
该专利属于崔大奎所有，仅供学习研究参考，未经过崔大奎授权不得商用。

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