下载一种带有铜合金背板的镍铂合金靶材及其制备方法的技术资料

文档序号:10701951

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种带有铜合金背板的镍铂合金靶材的制备方法,包括依次进行的步骤如下:对铂含量在5~20at.%之间的镍铂合金靶材坯料和铜合金板坯的表面进行机械加工,然后进行化学清洗;将铜合金板坯和镍铂合金靶材坯料依次装入包套容器中,然后将包套容器...
该专利属于昆山海普电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山海普电子材料有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。