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一种带有铜合金背板的镍铂合金靶材及其制备方法技术
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下载一种带有铜合金背板的镍铂合金靶材及其制备方法的技术资料
文档序号:10701951
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本发明涉及一种带有铜合金背板的镍铂合金靶材的制备方法,包括依次进行的步骤如下:对铂含量在5~20at.%之间的镍铂合金靶材坯料和铜合金板坯的表面进行机械加工,然后进行化学清洗;将铜合金板坯和镍铂合金靶材坯料依次装入包套容器中,然后将包套容器...
该专利属于昆山海普电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山海普电子材料有限公司授权不得商用。
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