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文档序号:10696631

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微机械传感器装置。本发明涉及一种用于探测和/或测量气体的传感器装置,包括两个电极,在所述两个电极之间设置有薄层的质子传导性材料。通过借助不同的气体浓度形成的质子梯度可以探测或测量气体。...
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