下载一种发光二极管外延片及其制作方法的技术资料

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本发明公开了一种发光二极管外延片及其制作方法,属于半导体技术领域。所述外延片包括蓝宝石衬底、以及依次层叠在蓝宝石衬底上的未掺杂GaN层、N型GaN层、有源层、P型GaN层,有源层为交替生长的InGaN层和GaN层,外延片还包括超晶格GaN层...
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