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本实用新型涉及一种硅片输送缓冲导轨，它包括支撑平台（1），支撑平台（1）的前端设置有支撑座（2），支撑平台（1）的后端设置有直线电机（3），支撑座（2）的支撑顶板（2.3）以及直线电机（3）的顶部之间架设有行走臂（4），行走臂（4）上开设有...
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