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本发明公开了一种多晶硅高效硅锭引晶装置及其引晶方法，解决了现有的硅晶体自发形核引晶颗粒容易导致非均匀形核和晶核品质低的问题。包括在石英坩埚（1）的坩埚底的氧化硅涂层（2）上均布有引晶颗粒（3）引晶颗粒芯的粒径为0.15-0.3毫米，在引晶颗...
该专利属于山西中电科新能源技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山西中电科新能源技术有限公司授权不得商用。

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