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一种飞秒激光双光子聚合微纳加工系统及方法技术方案
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文档序号:10671288
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本发明公开了一种飞秒激光双光子聚合微纳加工系统及方法,所述系统包括:飞秒激光器、外光路调制单元、取像装置、聚焦透镜、位移台、计算机以及监控装置,其中,取像装置,用于对三维微纳器件的截面图形逐层进行取像,以使调制后的飞秒激光形成按照所述各层截...
该专利属于南方科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过南方科技大学授权不得商用。
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