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本实用新型公开了一种SiC高能离子注入机用恒温超纯水装置。所述SiC高能离子注入机用恒温超纯水装置包括去离子水箱，所述去离子水箱上设有水位传感器、水温测量计和水阻变送传感器；所述去离子水箱出水口管道与变频纯水水泵入口连通，变频纯水水泵出口与...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十八研究所授权不得商用。

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