下载利用干涉测量法确定距离变化的方法的技术资料

文档序号:10665635

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本发明涉及利用干涉测量法确定至活动反射目标的距离变化的方法,该方法包括:产生激光辐射,其中由该激光辐射至少导出基准辐射和测量辐射;向目标发出测量辐射;采集在目标上反射的测量光束的至少一部分。另外,产生并采集所反射的测量辐射与基准辐射的叠加,...
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