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在熔体的表面上达成持续的非等向性晶体成长的方法技术
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下载在熔体的表面上达成持续的非等向性晶体成长的方法的技术资料
文档序号:10660359
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一种自熔体上水平带材生长的方法,包括在熔体的表面上利用辐射冷却形成带材的前侧边缘;沿着熔体的表面在第一方向上拉起带材;以及在邻近带材的前侧边缘的区域中以热移离速率来移除自熔体辐射的热,所述热大于流经熔体至带材内的热。...
该专利属于瓦里安半导体设备公司所有,仅供学习研究参考,未经过瓦里安半导体设备公司授权不得商用。
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