下载一种半导体发光器件的技术资料

文档序号:10654828

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本发明公开了一种半导体发光器件,包括顺次设置于半导体衬底(11)上的下波导层(12)、有源层(13)、上波导层(14)、隔离层(15)、盖帽层(16)、欧姆接触层(17),盖帽层(16)和欧姆接触层(17)组成脊型波导,所述脊型波导表面设置...
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