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基板分断装置及基板分断装置的基板搬送方法制造方法及图纸
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下载基板分断装置及基板分断装置的基板搬送方法的技术资料
文档序号:10654180
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本发明是有关于一种防止基板在传送移载时落下或碎裂发生的基板分断装置及基板分断装置的基板搬送方法。该基板分断装置包含:第1传送部及第2传送部,沿基板的搬送方向即第1方向隔着间隔配置,且具备在载置该基板的状态下卷绕于多个辊子而进行旋转的带部;刻...
该专利属于三星钻石工业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星钻石工业股份有限公司授权不得商用。
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