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一种或多种反应性气体被引入到内和外电容式电极之间的一个或多个特定区域处的电容式压力计，从而正和负弯曲的导致误差的测量影响被抵消或最小化。此外，保护结构可用于电容式压力计的电极结构。保护结构呈现对于气体扩散进入到膜片内相对不敏感的一个区域，结...
该专利属于MKS仪器公司所有，仅供学习研究参考，未经过MKS仪器公司授权不得商用。

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