下载功能区为网格状的半导体气体传感器的技术资料

文档序号:10641547

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本实用新型揭示了一种功能区为网格状的半导体气体传感器,包括基底;设置在基底上的信号感测电极,信号感测电极包括彼此分离的第一导电电极、第二导电电极以及电性连接第一导电电极和第二导电电极的功能层,基底上位于第一导电电极和第二导电电极之间的至少部...
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