下载一种光流体微纳器件动态加工装置的技术资料

文档序号:10637910

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本实用新型公开了一种光流体微纳器件动态加工装置,包括光源,在所述光源出射光束行进方向上依次设置有光束整形器件、与空间光调制控制器连接的空间光调制器、聚焦物镜以及光流体模块,所述的光源出射光束依次经过光束整形器件、空间光调制器、聚焦物镜以及光...
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