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微机电系统(MEMS)包括衬底、位于衬底表面上方位置的第一曲面和沿着平行于衬底的表面的第一轴线与第一曲面大致相对的第二曲面，其中所述第一曲面能够沿着第一轴线在朝向第二曲面的方向上移动。...
该专利属于罗伯特·博世有限公司;Ｇ·奥布赖恩所有，仅供学习研究参考，未经过罗伯特·博世有限公司;Ｇ·奥布赖恩授权不得商用。

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