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半导体装置的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:10633168
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在成为n-漂移层的半导体基板的内部,在背面侧的表面层设置p+集极层,在比背面侧的p+集极层更深的区域设置由多个n+层构成的n+场停止层。在半导体基板的正面形成正面元件构造后,在半导体基板的背面,通过与形成n+场停止层的深度对应的加速电压来进...
该专利属于富士电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士电机株式会社授权不得商用。
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