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本实用新型公开了一种光学错误注入系统及其平台。该光学错误注入平台包括：载物平台，用于承载待测芯片；光学头，用于对待测芯片进行光学错误注入；第一传动机构，用于与载物平台连接且沿直线轨迹传动载物平台；第二传动机构，用于与光学头连接且沿曲线轨迹传...
该专利属于国民技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过国民技术股份有限公司授权不得商用。

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