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本发明公开了一种具有防锈作用的化学机械抛光液，其特征在于，由下列重量份的原料制成：微米级锂辉石粉5-7、白炭黑3-4、氟磷灰石粉1-2、亚麻油酸5.5-7、烯基丁二酸酯3-4、硅酸3-5、硅微粉9-11、磺基水杨酸1-2、碳酸氢钠2-4、失...
该专利属于蚌埠天光传感器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过蚌埠天光传感器有限公司授权不得商用。

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