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本实用新型提供一种晶圆冷却腔，所述晶圆冷却腔体结构至少包括：腔体，所述腔体包括上腔体及下腔体，所述上腔体设置有多个用于晶圆冷却的冷却盘，所述下腔体设置有多个放置盘状工作件的支架，所述上腔体与下腔体之间通过阻挡板隔断。本实用新型的晶圆冷却腔设...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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