下载一种靶道空间基准装置及其调节方法的技术资料

文档序号:10577062

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本发明公开了一种靶道空间基准装置及其调节方法,它以激光、PSD、精密多维步进电机控制台等为基础,通过PSD感应激光光束所在的位置,将光斑位置信号转换为电信号,根据产生的电信号,控制步进电机的运行方向和步进,带动多维步进电机控制台运行,使前后...
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