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本实用新型提供一种直接充装MO源的装置，包括MO源储罐和MO源钢瓶，所述MO源钢瓶上设置有进气管和出气管，所述MO源储罐设置有出料口，所述MO源储罐的出料口通过三通接头连接在进气管上，所述MO源钢瓶内部设置有液位探头，所述液位探头通过PLC...
该专利属于安徽亚格盛电子新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽亚格盛电子新材料有限公司授权不得商用。

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