温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型揭示了一种套刻结构。包括：套刻对准标记及表征套刻对准标记归属于设定的芯片单元的归属标记；所述套刻对准标记及归属标记设置于切割道上。本实用新型的套刻结构，便捷高效，能够直接指示出套刻对准标记归属于哪个芯片单元，提高了工作效率。...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。