下载一种多晶硅铸锭用的坩埚、及其涂层结构和涂层制备方法的技术资料

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本发明提供了一种多晶硅铸锭用的坩埚、及其涂层结构和涂层制备方法。本发明提供的多晶硅铸锭用的坩埚涂层结构包括:置于坩埚内侧壁上的第一涂层,和置于该第一涂层上的第二涂层;所述第一涂层通过刷涂第一涂层组合物形成,所述第一涂层组合物包括氮化硅和溶剂...
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