下载压力传感器介质隔离封装结构的技术资料

文档序号:10549264

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种压力传感器介质隔离封装结构,包括管座、管帽、压力传感器芯片、基板及流体管,所述管座设有通孔并固定在基板上方,所述压力传感器芯片粘贴在管座上并覆盖通孔,压力传感器芯片包括与通孔相通的背腔,所述管帽罩设在管座上方从而在管帽与管座...
该专利属于苏州敏芯微电子技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州敏芯微电子技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。